Ο αναλυτής υπέρυθρης φασματοσκοπίας μετασχηματισμού Fourier (FTIR) χρησιμοποιείται στη βιομηχανία κατασκευής ημιαγωγών Το FTIR είναι ένα όργανο φασματικής ανάλυσης που χρησιμοποιεί φασματοσκοπία υπέρυθρης ακτινοβολίας για την ανάλυση της συγκέντρωσης ακαθαρσιών μέσω του μετασχηματισμού Fourier. Το φασματόμετρο αποτελείται κυρίως από μια πηγή φωτός (ράβδος άνθρακα πυριτίου, λάμπα υδραργύρου υψηλής πίεσης), συμβολόμετρο Michelson, ανιχνευτή και συμβολόμετρο
Το υπέρυθρο φως που εκπέμπεται από την πηγή υπέρυθρου φωτός S ευθυγραμμίζεται σε μια παράλληλη υπέρυθρη δέσμη και εισέρχεται στο σύστημα παρεμβολής. Μετά τη ρύθμιση από το συμβολόμετρο, λαμβάνεται μια δέσμη φωτός παρεμβολής. Το φως παρεμβολής περνά μέσα από το δείγμα Sa για να αποκτήσει ένα σήμα παρεμβολής που περιέχει φασματική πληροφορία, το οποίο φτάνει στον ανιχνευτή D και στη συνέχεια μετατρέπεται σε ηλεκτρικό σήμα από τον D. Το σήμα παρεμβολής εδώ είναι μια συνάρτηση χρόνου, που είναι το μοτίβο παρεμβολής που σχεδιάζεται από το σήμα παρεμβολής , και ο οριζόντιος άξονάς του είναι ο χρόνος κίνησης ή η απόσταση του κινούμενου καθρέφτη. Αυτό το μοτίβο παρεμβολής αποστέλλεται στον υπολογιστή μέσω ενός μετατροπέα A/D και ο υπολογιστής εκτελεί γρήγορους υπολογισμούς μετασχηματισμού Fourier για να αποκτήσει ένα υπέρυθρο φάσμα με τον κυματικό αριθμό ως οριζόντιο άξονα. Στη συνέχεια αποστέλλεται σε ένα plotter μέσω ενός μετατροπέα D/A για να σχεδιάσει ένα πολύ οικείο τυπικό φάσμα απορρόφησης υπέρυθρων.
